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本仪器是用来测量精密加工零件（平面、圆柱等外表面）光洁度的仪器，也可以用来测量零件表面刻线，镀层等深度。
仪器配以各种附件，还能测量粒状，加工纹路混乱的表面，低反射率的工件表面，同时还能将仪器安置在工件上，对大型工件表面进行测量。仪器测量表面不平深度范围为1～0.03微米，用测微目镜和照相方法来评定▽10～▽14光洁度的表面。
本仪器适用于厂矿企业计量室，精密加工车间，也适用于高等院校，科学研究等单位。
技术参数
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测量表面光洁度范围 |
0.03～1μm（▽10～▽14） |
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工作物镜的数值孔径 |
0.65 |
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工作距离 |
0.5mm |
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仪器的视场 |
目视 |
Φ0.25mm |
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照相 |
0.21×0.15mm |
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仪器的放大倍数 |
目视 |
500× |
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照相 |
168× |
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测微目镜放大倍数 |
12.5× |
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测微鼓分划值 |
0.01mm |
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绿色干涉绿色片波长 |
λ≈5300Å |
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半宽度 |
▽λ≈100Å |
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工作台升程 |
5mm |
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X、Y方向移动范围 |
≈10mm |
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旋转运动范围 |
360° |
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仪器标准镜高反射率 |
≈60% |
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低反射率 |
≈4% |
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可调变压器输入电压 |
220V |
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输出电压 |
4V～6V |
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仪器外形尺寸 |
270×160×230mm |
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仪器重量 |
≈5kg |
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