特点 1.MGH系列测量机采用封闭框架结构设计，是高精度精密型测量机的专用结构。由固定桥和工作台移动组成，其牢固的机械结构确保了系统具备较大的刚性、的稳定性和较小的振动，保证了整个测量空间较高的测量精度  2.轴运动采用中央驱动，避免了Y向运动中的偏摆，提高了Y轴的运动精度 Y轴导轨采用燕尾槽定位方式，以保证运动时的较大刚性及精度。 三轴导轨均采用优质花岗岩，使三轴具有相同的温度特性，因而具有良好的温度稳定性、抗实效变形能力，钢性好、动态几何误差变形较小。  3.三轴导轨均采用自洁式预载荷高精度空气轴承，运动更平稳。光栅的布置接近被测工件，遵循了阿贝误差原理，减小了系统误差。驱动系统采用进口高性能直流伺服电机、进口摩擦杆传动装置，确保传动更快捷、更精准、运动性能更佳。 Z轴采用气缸平衡装置，极大的提高了Z轴的定位精度及稳定性。 性能参数 测量范围(mm)X: 600 测量范围(mm)Y: 800 测量范围(mm)Z: 600 探测系统: PH10T+TP20 静态温度补偿系统 分辨率: 0.1μm 示值误差(μm): 1.5+L/350 探测误差(μm): 1.8